GB/T 12962-2015是中國國家標準中關于硅單晶的規(guī)定。該標準主要包含了硅單晶的定義、術語、規(guī)格以及物理、化學、機械性能等方面的要求。以下是該標準主要規(guī)定的內容：

1. 硅單晶的定義和術語：

硅單晶：指不同類型和尺寸的純度較高的硅晶體。摻雜濃度：硅單晶中摻雜雜質的含量。犧牲層：在硅單晶制備過程中為減小硅單晶的厚度而生長的一層硅片。唯一晶向：硅單晶中只存在一個晶體取向。

2. 硅單晶的規(guī)格：

尺寸：硅單晶的直徑、長度、寬度等尺寸的要求。表面狀態(tài)：硅單晶表面的平整度、光潔度、無缺陷程度的要求。彎曲度：硅單晶桿的彎曲度要求。

3. 硅單晶的物理性能：

晶格常數(shù)：硅單晶的晶格常數(shù)和變化范圍。密度：硅單晶的密度和變化范圍。熱膨脹系數(shù)：硅單晶的熱膨脹系數(shù)和變化范圍。硬度：硅單晶的硬度和變化范圍。

4. 硅單晶的化學性質：

電阻率：硅單晶的電阻率和變化范圍。雜質含量：硅單晶中各種雜質的約束要求。水溶性雜質：硅單晶中水溶性雜質的限制及要求。氣體雜質：硅單晶中氣體雜質的限制及要求。化學穩(wěn)定性：硅單晶對酸、堿等化學物質的穩(wěn)定性要求。

5. 硅單晶的機械性能：

抗拉強度：硅單晶在拉伸條件下的抗拉強度和變化范圍?？箟簭姸龋汗鑶尉г趬嚎s條件下的抗壓強度和變化范圍。彈性模量：硅單晶的彈性模量和變化范圍。

標準還包括了硅單晶的制備方法、加工工藝、檢測方法等方面的技術要求。GB/T 12962-2015旨在規(guī)范硅單晶產品的制備和使用，保證其質量和性能的穩(wěn)定性，以滿足不同領域的需求。

檢測流程步驟

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