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檢測執(zhí)行標準信息一覽：
標準簡介：本標準規(guī)定了離子束蝕刻機的術語、產品分類、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、運輸、貯存。本 標準適用于物理濺射腐蝕作用的通用離子束蝕刻機。其他專用離子束蝕刻機亦可參照執(zhí)行。
標準號：GB/T 15861-2012
標準名稱：離子束蝕刻機通用規(guī)范
英文名稱：General specification of ion beam etching system
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
標準狀態(tài)：現行
發(fā)布日期：2012-11-05
實施日期：2013-02-15
中國標準分類號（CCS）：電子元器件與信息技術>>電子工業(yè)生產設備>>L97加工專用設備
國際標準分類號（ICS）：31-550
替代以下標準：替代GB/T 15861-1995
起草單位：中國電子科技集團公司第四十八研究所
歸口單位：中國電子技術標準化研究所
發(fā)布單位：國家質量監(jiān)督檢驗檢疫.
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