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檢測執(zhí)行標準信息一覽：
標準簡介：本標準規(guī)定了靶材與背板結(jié)合強度測試方法。本標準適用于微電子領(lǐng)域鍍膜用靶材與背板結(jié)合強度測試方法。
標準號：GB/T 39163-2020
標準名稱：靶材與背板結(jié)合強度測試方法
英文名稱：Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2020-11-19
實施日期：2021-10-01
中國標準分類號（CCS）：冶金>>金屬理化性能試驗方法>>H22金屬力學性能試驗方法
國際標準分類號（ICS）：試驗>>19.060機械試驗
起草單位：有研億金新材料有限公司、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟研究院、寧波江豐電子材料股份有限公司、山東淄博漢能薄膜太陽能有限公司、貴研鉑業(yè)股份有限公司
歸口單位：全國有色金屬標準化技術(shù)委員會(SAC/TC 243)
發(fā)布單位：國家市場監(jiān)督管理總局.
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